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oval熱式質量流量計的測量原理
熱式質量流量計由主流路、旁通流路、設置在主流路中的加熱器和溫度傳感器（流量傳感器）以及設置在旁通流路中產生流量的層流元件構成。主要流路 由作為主要單元的主體和處理來自流量傳感器的質量流量信號的電路等組成。控制器將如上配置的質量流量計與電磁閥組合成流量控制部分。（根據規格，某些型號有單獨的電磁閥。）
主要流動路徑是毛細管，連接到該毛細管的兩個溫度傳感器形成橋式電路的一部分。當流體流經毛細管時，兩個溫度傳感器之間會產生與質量流量相對應的溫差，溫度傳感器檢測到的溫差會改變橋式電路的平衡，因此會產生與流量相對應的電信號得到了。可以做的。由于在兩個溫度傳感器之間放置了一個加熱器，因此可以將橋式電路檢測到的溫差輸出作為穩定的質量流量輸出。溫差輸出轉換成電壓，放大后成為輸出信號。控制器對電路部分的流量輸出信號和流量設定信號進行比較計算，并將差值控制為零。
熱式質量流量計的特點
1.可直接測量質量流量
2.無活動部件
3.甚至可以測量非常小的流量等等。
此外，由于熱式質量流量計的測量原理，必須注意以下幾點。
1.測量對象有限制（氣體和液體的流量非常小）
2.抗污能力弱（適用于清潔流體）
3.不同的流體有不同的傳感器靈敏度（如果流體的類型不能固定，就不能進行正確的測量）
然而，用于測量微小流量的熱式質量流量計預計在未來將越來越流行，主要用于半導體制造過程中的采樣、混合和稀釋。
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