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兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規格緊湊型鍍膜機

發布日期：2024-07-04 瀏覽次數：593

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規格緊湊型鍍膜機

特征

DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。

配備皮拉尼真空計，確保成膜條件的再現性

標準配備手動快門

使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。

可以進行鎢涂層，因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

用途和結果示例

將電極膜粘貼到各種設備上

用于反射薄膜生產等。

基本規格

陰極	φ2英寸直流磁控管/扁平電極
適用對象	Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
壓力測量	皮拉尼真空計
壓力控制	帶針閥手動控制入口直徑 φ6mm 一觸式接頭
工藝氣體	氬氣
真空泵	直聯旋轉泵：20L/min（帶自動泄漏）
腔室尺寸	內徑φ90×D90mm（SUS材質）
樣品交換方式	前門開閉方式
尺寸（寬/深/高）	機身：160/450/290mm 轉速：295.5/156/199.5mm
重量	本體：9kg RP：9kg

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